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電子ビーム蒸着とは?

でんしびーむじょうちゃく

電子ビームで蒸発させた材料を基板に薄膜として堆積させる成膜法。

加速電子ビームを照射してターゲット材料を局所加熱蒸発させ基板に薄膜を形成する真空蒸着法。

使い方・例文

光学コーティングや半導体製造では電子ビーム蒸着で純度の高い薄膜を精密に積層する。

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