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溶融石英ガラスとは?

ようゆうせきえいがらす

高純度シリカを溶かして作る超低熱膨張ガラス

天然水晶や合成シリカを高温溶融した純度の高いガラス熱膨張係数が極めて小さく光学・半導体用途に使われる。

使い方・例文

半導体露光装置のレンズには溶融石英ガラスが使われて寸法精度が保たれる。

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