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化学気相堆積とは?

かがくきそうたいせき

気体原料を分解・反応させて薄膜を形成するプロセス

反応室に導入した気体原料が加熱基板上で熱分解または化学反応固体薄膜を堆積させる薄膜形成技術でCVDとも呼ばれる。

使い方・例文

CVDでシリコン窒化膜を堆積させ半導体デバイスの絶縁層を形成する。

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