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原子層堆積とは?

げんしそうたいせき

原子1層ずつ精密に薄膜を成長させる技術。

前駆体ガスを交互に導入し各サイクルで原子1層ずつ反応・除去を繰り返すことで原子レベルで膜厚を制御する薄膜形成技術でALDと略す。

使い方・例文

ALDで酸化ハフニウムゲート絶縁膜を原子層堆積し最先端ロジック半導体を作製する。

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