プラズマ化学気相堆積とは？ ぷらずまかがくきそうたいせき 理科 #材料科学 お気に入り お気に入り 読み上げ 停止 プラズマで活性化した原料ガスを使う薄膜堆積法。 高周波放電などで原料ガスをプラズマ化して化学的に活性なラジカル・イオンを生成し低温で薄膜を堆積させるCVDの一形態。 使い方・例文 PECVDで低温のガラス基板上にアモルファスシリコン薄膜を成膜する。 この用語をシェア 𝕏 でポスト LINE 🔗 リンクをコピー コピーしました その他で共有 最終更新: 2026年6月25日