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エピタキシャル成長とは?

えぴたきしゃるせいちょう

基板結晶方位に従って薄膜が成長する現象。

気相または液相から結晶が析出する際に基板の結晶方位を引き継いで単結晶薄膜が成長するプロセス

使い方・例文

シリコン基板上にゲルマニウムをエピタキシャル成長させて半導体素子を作る。

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