真空計とは？
しんくうけい
真空計とは、大気圧以下の低圧状態（真空状態）の圧力を測定するための計測器で、産業・研究・医療など多くの分野で使用されます。
真空計とは、大気圧よりも低い圧力、すなわち真空状態における気体の圧力を測定するための計測器です。真空の度合いによって粗真空・中真空・高真空・超高真空などに分類され、それぞれに適した計測原理と計測器が存在します。
真空計の種類は測定原理によって大きく分けられます。
- ブルドン管真空計：弾性変形を利用した機械式。粗真空域（数kPa〜大気圧）で使用
- ダイヤフラム式真空計：薄膜の変形を電気信号に変換。中真空域に対応
- ピラニ真空計：熱伝導度の圧力依存性を利用した熱伝導式。中〜高真空域で使用
- 電離真空計（BA計など）：電子ビームでガス分子を電離し電流を測定。高〜超高真空域に対応
- マクロード真空計：ガスを既知の体積に圧縮してボイルの法則を適用する基準器
真空計の用途は幅広く、半導体製造プロセス（スパッタリング・CVDなど）、真空包装・フリーズドライ食品の製造、電子顕微鏡や粒子加速器などの研究設備、航空宇宙機器の試験設備、医療用の吸引装置などに不可欠な計測器です。
選定の際には、計測する真空度の範囲、測定するガスの種類、設置環境（耐熱・耐薬品性など）を考慮することが重要です。高精度な真空プロセス管理では複数種の真空計を組み合わせて使用する場合もあります。
使い方・例文
半導体工場の真空チャンバーでは、成膜プロセス中の圧力を管理するためにピラニ真空計や電離真空計が使われ、チャンバー内が所定の真空度に達したことを確認してからプロセスを開始します。
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