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リニアスケールとは?

りにあすけーる

リニアスケールとは、直線方向の移動距離を高精度で計測するための位置検出センサーで、工作機械や測定機器に広く使われます。

リニアスケール(Linear Scale)は、直線方向(リニア方向)の変位量を電気信号として検出・出力する位置センです。工作機械・精密測定機器・半導体製造装置などで、テーブルスピンドルの移動量をリアルタイムで正確に把握するために用いられます。

動作原理により主に3種類に分類されます。

  • 光学式(エンコーダ式):スケール本体に刻まれた格子縞(グレーティング)に光を当て、その反射・透過パターンの変化をフォトセンサで読み取る方式。高精度で分解能が高い。
  • 磁気式:磁気パターンをセンサで検出する方式。光学式より分解能は低いが、油・切削液・粉塵への耐性が高い。
  • 電磁誘導式:コイルと導体パターンの誘導変化を利用する方式。環境耐性と精度のバランスが取りやすい。

出力信号はアナログ正弦波やデジタルパルス(TTL・RS422)が一般的で、CNC制御装置や表示器に接続して使用します。分解能は用途によって1μm・0.1μm・1nm台のものまで揃います。

工作機械ではフィードバック制御に不可欠な要素として位置決め精度を担保し、三次元測定機では測定値の根幹を成します。リニアスケールの精度が最終製品の品質に直結するため、校正と保守が重要視されます。

使い方・例文

CNCマシニングセンタでは、テーブルのX・Y・Z各軸にリニアスケールを取り付け、工具の現在位置を0.001mm単位でフィードバックしながら加工を行います。

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