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スピンコーティングとは?

すぴんこーてぃんぐ

回転する基板上に溶液を均一に塗布する技術。

基板を高速回転させながら中央に液体を滴下し遠心力で均一な薄膜を形成する塗布技術で半導体フォトレジスト塗布に多用される。

使い方・例文

スピンコーティングでフォトレジストを基板に均一に数百nm厚で塗布する。

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