クリーンルーム規格（ISO 14644）とは？
くりーんるーむきかく
クリーンルーム規格（ISO 14644）とは、空気中の浮遊粒子数に基づいてクリーンルームの清浄度クラスを定義する国際標準規格です。
ISO 14644は、クリーンルームおよびそれに関連する制御環境の設計・性能評価・運用・維持管理に関する国際規格シリーズです。半導体・医薬品・食品・航空宇宙など、微粒子汚染の管理が製品品質に直結する産業で世界標準として採用されています。
ISOクラス（清浄度分類）：ISO 14644-1では、単位体積（1m³）当たりの浮遊粒子数に基づき、ISO Class 1（最も清浄）からISO Class 9（最も低清浄）の9段階に分類します。数値が小さいほど許容粒子数が少なく、高い清浄度を示します。旧来の米国連邦規格（FED-STD-209E）のクラス10やクラス100はISO 4・ISO 5に相当します。
ISO 14644シリーズの主な構成：
- 14644-1：クリーンルームの空気清浄度の分類
- 14644-2：空気清浄度に関するモニタリング方法
- 14644-3：試験方法
- 14644-4：設計・建設・立ち上げ
- 14644-5：運用
管理の実際：粒子計数器による定期的な浮遊粒子測定のほか、差圧管理・清浄服・エアシャワー・HEPAフィルターなどの汚染制御手段と組み合わせて規格値を維持します。
意義：クリーンルームの清浄度を国際的に統一した尺度で評価することで、サプライヤー間の品質要求の明確化や製造環境の検証が可能になります。
使い方・例文
半導体の前工程（ウェーハ加工）ではISO Class 4〜5相当のクリーンルームが使用され、微細な回路パターンへのパーティクル付着による歩留まり低下を防いでいます。
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