クリーンルーム規格（ISO 14644）とは？ くりーんるーむきかく 社会 #製造 お気に入り お気に入り 読み上げ 停止 空気中の粒子数を管理するクリーンルームの国際分類規格。 ISO 14644-1は空気1m³当たりの0.1µm以上の粒子数によってISO 1〜9のクラスにクリーンルームを分類する国際規格。 使い方・例文 半導体のリソグラフィ工程はISO 1〜3クラスのクリーンルームで実施される。 この用語をシェア 𝕏 でポスト LINE 🔗 リンクをコピー コピーしました その他で共有 最終更新: 2026年6月29日