クリーンルームとは?
くりーんるーむ
クリーンルームとは、空気中の塵・微粒子・細菌などを厳格に管理し、製品の汚染を防ぐために設計された特殊な作業室のことです。
クリーンルーム(Clean room)とは、空気中に浮遊する微粒子・細菌・化学汚染物質などを規定のレベル以下に制御するよう設計・管理された特殊な部屋または施設です。半導体製造・医薬品製造・宇宙機器の組み立てなど、微小な汚染が致命的な欠陥につながる分野で広く使われています。
清浄度のクラス分類
クリーンルームの清浄度はISO規格(ISO 14644-1)やかつての米国連邦規格(FED-STD-209)でクラス分けされています。例えばISO クラス1は1立方メートルあたり0.1μm以上の粒子が10個以内という超高清浄環境で、クラス数が大きいほど許容される微粒子数が増えます。
主な技術と管理手法
- HEPAフィルター・ULPAフィルターによる高効率な空気ろ過
- 陽圧管理(外気の侵入を防ぐため室内気圧を外より高くする)
- エアーシャワーによる入室前の塵除去
- 無塵衣・手袋・マスクなどの専用ウェアの着用義務
- 動線・作業手順の厳格な管理
主な用途
半導体・液晶パネルの製造ラインでは数十nmレベルの回路を形成するため、クリーンルームは不可欠なインフラです。また医薬品・食品・医療機器・宇宙探査機の製造でも微生物汚染防止に活用されています。
使い方・例文
スマートフォンに搭載されるCPUチップは、クリーンルーム内の製造ラインで、作業員が全身防護服を着た状態で製造されます。
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