レーザ変位計とは？
れーざーへんいけい
レーザ変位計とは、レーザー光を対象物に照射し、その反射を利用して非接触で微小な距離や変位量を高精度に測定する計測器です。
レーザ変位計（レーザへんいけい）は、レーザー光を測定対象物に照射し、反射・散乱した光を受光素子で検出することで、対象物までの距離や表面の変位（位置の変化量）を非接触・高精度に測定する計測機器です。産業分野では変位センサとも呼ばれます。
測定原理には主に二種類があります。
- 三角測距方式：対象物で反射したレーザー光がCCDやPSDなどの受光素子に当たる位置の変化を読み取り、三角関数の幾何学的関係から距離を算出する。比較的近距離の精密測定に向く
- TOF（Time of Flight）方式：レーザーパルスを照射し、反射が返ってくるまでの時間を計測して距離を算出する。長距離測定や屋外用途に適している
レーザ変位計の主な特徴と利点には次のものがあります。
- 非接触のため対象物に力をかけず変形・汚染を防げる
- ミクロン（µm）単位の高分解能を持つ製品もある
- 高速サンプリングにより動的な変位の追跡が可能
- 柔軟・脆弱・高温の対象物にも使用できる
利用場面は広く、半導体・電子部品の厚さや段差測定、自動車部品の寸法検査、橋梁・建物の振動・変形モニタリング、印刷・フィルム工程での厚み管理などが代表例です。製造ラインの品質管理から土木インフラの維持管理まで、現代の計測技術に不可欠な機器となっています。
使い方・例文
自動車の製造ラインで、組み立てられたパーツの寸法をレーザ変位計で瞬時に非接触検査し、規格外品を自動で弾く用途などに使われます。
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