レーザー変位計とは？

れーざーへんいけい

レーザー光を対象物に照射し、反射光の位置や時間差から非接触で距離・変位・厚みを計測する精密センサーです。

レーザー変位計は、半導体レーザーを被測定物に照射し、反射・散乱光を受光素子（CCDやPSD）で受けて三角測量または飛行時間法（TOF）で距離を算出する非接触型変位センサーである。測定範囲は数mmから数mまで、分解能はμmオーダーのものもある。高速・非接触の特性から生産ラインでの形状検査・振動計測・段差測定などに使われる。