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フォトリソグラフィーとは?

ふぉとりそぐらふぃー

光を使って微細パターンを転写する技術。

感光性フォトレジストを塗布した基板をマスクを通して露光しエッチングによってナノスケールのパターンを形成する半導体製造基本技術。

使い方・例文

EUVフォトリソグラフィーで3nmノードの半導体集積回路を製造する。

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