フォトリソグラフィーとは? ふぉとりそぐらふぃー 理科 #材料科学 お気に入り お気に入り 読み上げ 停止 光を使って微細パターンを転写する技術。 感光性フォトレジストを塗布した基板をマスクを通して露光しエッチングによってナノスケールのパターンを形成する半導体製造の基本技術。 使い方・例文 EUVフォトリソグラフィーで3nmノードの半導体集積回路を製造する。 この用語をシェア 𝕏 でポスト LINE 🔗 リンクをコピー コピーしました その他で共有 最終更新: 2026年6月25日