MEMSマイクとは？
めむすまいく
半導体製造技術で作られた超小型マイクで、スマートフォンやウェアラブルデバイスに広く搭載される高精度な音声入力デバイスです。
MEMSマイクとは、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems＝微小電気機械システム）技術を用いて製造されたマイクロフォンです。半導体のフォトリソグラフィ技術でシリコン基板上に極めて小さな振動板と固定電極を形成し、音圧による静電容量の変化で音声を電気信号に変換します。
従来のエレクトレットコンデンサーマイク（ECM）と比べると、MEMSマイクはリフロー実装（高温の自動はんだ付け）に耐えられるため、スマートフォンや補聴器など高密度実装が求められる機器への組み込みが容易です。また、チップサイズが非常に小さく、消費電力も低いことが特徴です。
構造的には、音を受けるMEMS素子と信号処理回路（ASIC）を同一パッケージに封入したものが主流です。アナログ出力型とデジタル出力型（PDMやI2S）があり、デジタル型はノイズの影響を受けにくい長距離伝送が可能です。
スマートフォンやタブレットの通話・録音用途はもちろん、スマートスピーカーの音声認識、ヒアラブルデバイス、ドローンの音響センサーなど応用範囲は広く拡大しています。量産性が高くコスト競争力もあるため、現代の音声入力デバイスの主役となっています。
使い方・例文
スマートフォンの底面に埋め込まれた通話用マイクや、スマートスピーカーが音声コマンドを聞き取る際にMEMSマイクが使われています。
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