アルミナセラミックスとは？
あるみなせらみっくす
Al2O3を主成分とし高硬度・高絶縁性・耐熱性を持つセラミックスで基板・ノズル・耐摩耗部品に広く用いられる。
使い方・例文
半導体製造装置のノズル部品にアルミナセラミックスが使われている。
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