マスフローコントローラーとは？ ますふろーこんとろーらー 理科 #実験機器 お気に入り お気に入り 読み上げ 停止 気体の質量流量を精密に制御する装置。 ガスの温度・圧力補正を行い質量流量として精密に計測・制御する流体制御装置で半導体製造や化学実験に不可欠。 使い方・例文 CVD装置はマスフローコントローラーで原料ガスの流量を精密に制御する。 この用語をシェア 𝕏 でポスト LINE 🔗 リンクをコピー コピーしました その他で共有 最終更新: 2026年6月25日