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薄膜トランジスタとは?

はくまくとらんじすた

薄膜トランジスタとは、ガラスなどの基板上に薄い半導体膜を堆積して作るトランジスタで、液晶ディスプレイの画素駆動に広く使われます。

薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)は、ガラスプラスチックなどの絶縁基板上に、アモルファスシリコン・低温ポリシリコン(LTPS)・酸化半導体(IGZO等)などの薄い半導体膜を蒸着や成膜技術で形成して作ったトランジスタです。

通常のトランジスタがシリコン単結晶ウェハを基板とするのに対し、TFTは大型ガラス基板上に数百万〜数千万個を均一に形成できる点が最大の特徴です。フラットパネルディスプレイ(FPD)の画素ごとにTFTを配置し、各画素の電圧を個別に制御することでアクティブマトリクス駆動を実現しています。

半導体材料による分類と特性の違いを整理すると以下の通りです。

  • アモルファスSi(a-Si):製造コストが低く大型パネルに向く、電子移動度は低め
  • 低温ポリシリコン(LTPS):電子移動度が高く、駆動回路をパネル内に集積可能
  • IGZO(インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物):低消費電力・高解像度向け、有機ELにも採用

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイの画素スイッチとして、スマートフォン・テレビ・パソコンモニターなどほぼすべてのフラットパネル製品に搭載されています。また、医療用X線センサーや電子ペーパーの駆動にも応用されています。

使い方・例文

液晶テレビやスマートフォンのディスプレイでは、各画素に対応したTFTがバックライトの透過量を制御することで、鮮明な映像を表示しています。

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