光波干渉計とは？
こうはかんしょうけい
光波干渉計とは、光の干渉現象を利用して極めて微小な長さ・変位・屈折率の差を精密に測定する計測器です。
光波干渉計（こうはかんしょうけい）は、光の波動としての性質、特に「干渉」という現象を利用して、非常に高い精度で長さや変位、屈折率の差などを測定する計測器です。干渉とは、2つの光波が重なり合うとき、波の位相のずれに応じて明暗の縞（干渉縞）が現れる現象です。
最も基本的な構成は、マイケルソン干渉計と呼ばれる形式です。光源からの光を2方向に分割し、それぞれ異なる経路をたどった後に再び合わせることで干渉縞を生じさせます。測定対象が移動したり屈折率が変化したりすると干渉縞が変化するため、その変化量から対象の変位や屈折率差を算出できます。
光波干渉計の主な用途は以下のとおりです。
- 精密機械加工部品の寸法・平面度・面粗さの測定
- 光学素子（レンズ・ミラー）の形状・品質検査
- 重力波検出器（LIGOなど）への応用
- 屈折率・膜厚の測定
光の波長（数百ナノメートル）を物差しとして使うため、サブナノメートル〜ナノメートルオーダーの測定が可能です。現代の精密製造や物理学研究において不可欠な計測技術となっています。
使い方・例文
半導体製造の品質検査において、光波干渉計でウェハー表面の微細な凹凸を測定し、加工精度を確認する場面などで使われます。
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