光波干渉計とは？

こうはかんしょうけい

光の波の重ね合わせ（干渉縞）を利用して、波長以下の超微小な距離や変位を計測する精密測定装置です。

光波干渉計は、コヒーレントな光を分割してそれぞれ異なる経路を通過させ、再合成時に生じる干渉縞のパターンから光路長差を計算することで、サブナノメートル精度の距離・表面形状・屈折率の計測を行う装置である。マイケルソン干渉計・ファブリ・ペロー干渉計・フィゾー干渉計など種類があり、光学素子・半導体・重力波検出まで幅広く使われる。